Etude de l’influence du vanadium sur les propriétés des nitrures de chrome Etude de l’influence du vanadium sur les propriétés des nitrures de chrome Etude de l’influence du vanadium sur les propriétés des nitrures de chrome
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2019
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Abstract
Ce travail a pour but de montrer la caractérisation des revêtements Cr – V – N, avec
différente quantités de Cr et de V. Les revêtements CrN, VN et Cr – V – N étant déposés sur
des substrats en silicium et en acier XC100 par pulvérisation cathodique magnétron réactive
par radiofréquence
Les revêtements sont caractérisés par diffraction des rayon X, la microanalyse
X(EDS,WDS),XPS,MEB et nanoidentation
La contrainte résiduelle a été calculée à l'aide de la formule de Stoney. Comparé au système
CrN, les films Cr – V – N présentés une surface rugueuse basée sur la morphologie
pyramidale. Une dureté de 19 .53 GPa a été obtenu pour CrN; en revanche, les revêtements Cr
– V – N présentaient une dureté faible de 6.23 GPa.