Les interactions des particules chargées avec la matière

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2019
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La méthode de Monte Carlo est un outil efficace pour la simulation des trajectoires aléatoires des ions et des électrons lors des bombardements de la surface de composés semi-conducteurs par des faisceaux d’ions ou d’électrons. Après un rappel théorique décrivant la technique de Monte Carlo relative au bombardement ionique et électronique par des équations mathématique qui montrent les effet des différents caractéristiques des particules projetées et les cibles bombardés sur les différents phénomènes physique résultant on a utilisé des logiciels TRIM (Transport and range of Ions in Mater) et CASINO (Monte Carlo Simulation of electroN trajectory in sOlid) pour simuler respectivement l’inter action ions avec la matière et l’interaction des électrons avec mat ière. Les résultats obtenus sont donnés sous formes de s tableaux et sous formes des courbes relatant les différents phénomènes liés au pouvoir d’arrêt, la distance parcourue des ions dans la matière et les effets de génération de rayon X par les faisceaux des électrons
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