Caractérisation de revêtements durs de ZrON déposés par PVD : Propriétés structurales et mécaniques
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Date
2022
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Abstract
L’utilisation des revêtements durs sur des surfaces des aciers destinés à l’usinage de
matériaux métalliques reste un enjeu économique important pour l’industrie, d’où de nombreux
travaux de recherche dans ce secteur. Cependant, il existe très peu d’exemples d’application
dans les domaines sévères d’usure et de corrosion.
Le but de ce travail de caractériser des revêtements à base de ZrN déposés par dépôt physique
en phase vapeur afin d'améliorer la dureté et l’élasticité des surfaces des aciers.
Des revêtements binaires de ZrN et ternaires de Zr-O-N été déposés sur des aciers et sur des
substrats de Silicium par pulvérisation magnétron RF en utilisant une cible de Zr sous
différentes atmosphères (Ar + N
2
, Ar + O
2
+ N
2
).
L'influence des ratios des gaz plasmagènes sur les propriétés des revêtements ont été étudiées,
en utilisant l’EDS, la WDS, la DRX, le MEB, et la nanoindentation. L'objectif est d'établir une
corrélation entre le comportement mécanique des revêtements étudiés et leurs propriétés
physico-chimiques.
Les résultats montrent que grâce à l’emploi des revêtements de ZrON, la dureté des aciers
a été augmentée de 22 à 50 % par rapport à l’acier non revêtu.